オンラインTOC計
瞬時のTOCの増減や水質変動を精度良く検出することが可能 半導体洗浄に使用される
純水製造装置・関連装置
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オゾン水製造装置
オゾンガスを溶解させたクリーンで立上りの速いオゾン水を供給します。 独自の技術で
ヒートマスター
熱を用いた再生方式で、薬品を使用せず全自動運転が可能です。 特長 ■独自の再生方
純水製造装置(RO＋EDI仕様）
RO＋EDIをフルパッケージ！ 環境に優しい純水製造装置 特長 ■RO（逆浸透）
小型超純水製造装置300L/h
表面処理の前処理の純水から、製薬用純水（精製水）や、半導体（LSI）洗浄用の超純
屋外設置型純水製造装置
電気再生式イオン交換装置（EDI）を備えた、工場量産型の超純水製造装置（屋外設置
スーパーバブラーWAC
先進の電気抵抗率制御技術で超純水の静電気を抑制！！ 特長 ・半導体製造やFPD製
パイロジェンフリー精製水製造装置
市水より簡単にパイロジェンフリー精製水を製造するパッケージ型装置です。 自動熱水
小型超純水製造装置1000L/h
水道水以外を原水として純水を製造可能！ニーズに適した純水を提案いたします 当社で
パッケージ型純水製造装置
純水が必要な場所で簡単に！ 毎時９０〜１８０リットルの純水を供給可能、電子パネル
純水製造装置（パッケージ型イオン交換樹脂ボンベ）
純水が必要な場所で簡単に！ 特長 ・内臓のカートリッジフィルターにより原水中の微