特長

・半導体製造やFPD製造、ダイシング工程での洗浄水の電気抵抗率を最適化。
・静電破壊や微粒子の再付着を防ぎ、歩留まり向上。
・全機種電気抵抗率センサーが内蔵されているので据付・配管が容易です。
・最大通水量：3,000L/h、圧力損失：0.06MPa at 3,000L/h
・運転スイッチを押して電気抵抗率を入力すれば、瞬時に設定値±0.03MΩ・cmで制御が始まります。
・最高使用圧力が0.5MPaのため、機種配置が自由に行えます。
・使用水量が大きく変動してもすばやく設定値に収束します。
・CO2溶解膜などの高価な消耗品は不要です。膜方式と異なり一切のCO2ガス排気と排水がありません。
・過酸化水素（3％）による殺菌も出来るので、菌も繁殖せず安心です。

仕様

・処理量：200～1,000L/h、200～2,000L/h、300～3,000L/h
・電気抵抗率制御範囲：0.16～1.7MΩ・cm、0.11～1.5MΩ・m、0.13～1.9MΩ・m
・制御精度：Set resistivity±0.03MΩ・m
・最大入口水圧：0.5MPa
・最大CO2圧力：0.7MPa
・圧力損失：0.06MPa at 3,000L/h
・純水接続口径：3/4”メスネジ
・電源：AC100-130V、AC220-240V、50/60Hz, 単相/single phase  50VA
・オプション：CO2ボンベ自動切換装置、シグナル表示灯、警報出力など

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